重慶西部科學(xué)城傳出振奮人心的消息:由本地科研團(tuán)隊(duì)主導(dǎo)研發(fā)的我國(guó)首個(gè)自主開發(fā)的180納米成套硅光工藝取得重大突破,并已通過技術(shù)驗(yàn)證,標(biāo)志著我國(guó)在硅基光電子這一前沿核心領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了從工藝到器件的完整自主創(chuàng)新突破。這一成果不僅填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白,也為我國(guó)信息光電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入了強(qiáng)勁動(dòng)力。
硅光技術(shù),即在硅襯底上集成光電子器件,是未來高速通信、高性能計(jì)算、人工智能及量子信息等領(lǐng)域的底層關(guān)鍵技術(shù)。長(zhǎng)期以來,高端硅光工藝及核心知識(shí)產(chǎn)權(quán)主要掌握在國(guó)外少數(shù)企業(yè)手中,成為制約我國(guó)相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸。重慶科研團(tuán)隊(duì)此次突破的180納米成套硅光工藝,涵蓋了從工藝設(shè)計(jì)工具包(PDK)、關(guān)鍵工藝模塊到流片驗(yàn)證的全鏈條,具備了面向產(chǎn)業(yè)的設(shè)計(jì)與制造能力。
此次研發(fā)由重慶西部科學(xué)城內(nèi)的高校、科研院所與高新技術(shù)企業(yè)協(xié)同攻關(guān)完成,屬于“工程和技術(shù)研究和試驗(yàn)發(fā)展”的重要范疇。團(tuán)隊(duì)攻克了硅基光波導(dǎo)低損耗刻蝕、高效率光電調(diào)制器與探測(cè)器集成、異質(zhì)材料鍵合等一系列技術(shù)難題,工藝線達(dá)到了可量產(chǎn)的技術(shù)成熟度。基于該工藝平臺(tái),已成功流片并驗(yàn)證了多款高速光調(diào)制器、光開關(guān)及波分復(fù)用器件,性能指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
業(yè)內(nèi)專家指出,該成果的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用前景十分廣闊。它將極大降低國(guó)內(nèi)企業(yè)研發(fā)硅光芯片的門檻和成本,加速光通信模塊(尤其是用于數(shù)據(jù)中心的高速光模塊)的國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程。該平臺(tái)為研制更復(fù)雜的光電集成芯片(如激光雷達(dá)芯片、光子計(jì)算芯片)提供了可靠的工藝基礎(chǔ),將有力助推重慶乃至全國(guó)在自動(dòng)駕駛、人工智能等新興賽道構(gòu)建核心競(jìng)爭(zhēng)力。
重慶西部科學(xué)城作為西部重要的科技創(chuàng)新策源地,已將光電子產(chǎn)業(yè)列為重點(diǎn)發(fā)展的主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)之一。此次重大突破是科學(xué)城聚焦國(guó)家戰(zhàn)略需求、深化科技體制改革、推動(dòng)產(chǎn)學(xué)研深度融合的典型成果。它不僅是重慶打造具有全國(guó)影響力的科技創(chuàng)新中心進(jìn)程中的一座里程碑,也為西部地區(qū)的產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)和高水平科技自立自強(qiáng)樹立了標(biāo)桿。隨著該工藝平臺(tái)的不斷完善與迭代,以及更多創(chuàng)新主體的參與,我國(guó)在全球硅光領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)中將贏得更多主動(dòng)權(quán)。
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更新時(shí)間:2026-04-16 10:15:17